




pvd真空电镀工艺对环境的要求:1、高真空设备。使用饱和蒸气压低的扩散泵油和硅油作为润滑剂;窗户的密封件应涂上高真空油脂;相对湿度不高于清洁空气循环环境的70%。2、真空电镀设备一般应在温度下工作1530℃。冷却水进水温度不高于25℃。电真空结构数据除了具有---的机械性能外,还应该能满足其他性能的要求。

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