




11为何机台必须使用冷却水时,必须控制水质纯净?
答:防止结垢,或绝缘
12为何制程(process)气体管路必须加热( from gas box to chamber)?
答:防止制程气体冷凝为液体,影响制程.
13何谓pm ?机台为何要定期pm?
答:pm(preventive maintenance)是预防保养. 按周期对机台相应的parts(备品)采取相应的维护或更换措施,为保持机台性能的稳定,防止制程良率下降,延长机台及parts寿命.
(1) 依时程而分,铝合金电镀加工厂家,可分为月保养,季保养,东莞铝合金电镀,年保养.
(2) 依wafer 数量而分,是为数量保养.
14为何---做pm时,必须先冷却加热器(heater) 至(room temp.)适当的温度?
答:为了---安全及机台安全
15为何---做pm时,铝合金电镀加工,chamber必须bake out?
答:为了排气,防止不纯气体进入film 中,影响制程
16pvd与w-cvd在ic制造中扮演什幺角色?
答:铝与钨为金属层,连通device 与封装的导线,在二者之间形成通路,铝合金电镀工厂,电流得以畅通无阻.(attached drawing)

离子镀的技术分类
根据膜层粒子的获得方式,离子镀可以分为蒸发型离子镀和溅射型离子镀,其中蒸发型离子镀又根据放点原理不同可以分为直流二级型离子镀、热丝弧离子镀、空心阴极离子镀以及热阴极离子镀等。直流二级离子镀,通过稳定的辉光放点;空心阴极离子镀和热丝弧离子镀,都是热弧光放电;而阴极电弧离子镀放电类型z特殊,采用了冷弧光放电。
电镀加工针对承受力预制构件,内应力---的不均衡性可能造成内应力腐蚀和腐蚀疲惫,---是在要留意剩余应力对腐蚀全过程的危害。除此之外,在金属材料的冷、热处理及安装流程中,也需要留意防止腐蚀的产生。
设计产品中,难以避免地要应用各种各样不同原材料,因而组材时务必考虑到不同原材料相互触碰时可能造成的热电偶腐蚀问题

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