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对经过清洗处理的清洁表面，不能在---环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。用刚 氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至z小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。真空镀膜加工对于 高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。

真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工 作间，耳机配件真空电镀，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外，还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。

一、当正在镀膜时真空度突然下降

1.蒸发源水路胶罔损环(更换胶罔)

2.坩埚被打穿(更换坩埚)

3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)

4.工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

6、高阀突然关闭可能是=位五通阀损坏(更换二位五通阀)

7.机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)

8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶罔)

9.挡板动密封处胶固损坏(更换胶园)

10. 玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)

将活性气体引入到真空镀膜室通过活性气体的原子（分子）与蒸发源中蒸发出来的原子发生化学反应，生成化合物涂层的方法，称为反应蒸镀法。反应即可在气态空间中，也可在基片表面上进行，也可以两者兼有。其中以在基片上进行反应为主。反应的进行通常与反应气体的分压、蒸发温度、蒸发速度以及基片温度等因素有关，耳机配件真空电镀工厂，所获得的涂层可以是金属合金，也可以是化合物。目前，这种方法已经广泛应用于制备绝缘化合物膜层上。

长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、---真空、保真空:

1.蒸发室有很多粉尘(应清冼)

2.扩散泵很久未换油(应清冼换油)

3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)

4、各动密封胶圈损坏(更换胶园)

5.由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶园老化(更换胶因)

6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶罔损坏(更换胶圈)

7.各引入座螺钉螺母有无松动现象(重新压紧)

8、高低预阀是否密封---(注油)。

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