真空电镀-瑞泓科技有限公司-真空电镀

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    2024-3-24

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真空电镀工艺可能遇到的问题及对策

3.真空室内残余气体压力对膜层的影响

真空室内残余气体的压力对膜性能的影响较大。压力过高残余气体分子不但已与蒸发粒子碰撞使其入射到基片上的动能减小影响膜的附着力。而且,过高的残余气体压力还会---影响膜的纯度,使涂层的性能降低。

4.蒸发温度对蒸发涂层的影响

蒸发温度对膜性能的影响是通过蒸发速率随温度变化而表现出来。当蒸发温度高时,汽化热将减小。如果膜材在蒸发温度以上进行蒸发时,即使是温度稍有微小的变化,也可以引发膜材蒸发速率的急剧变化。因此,在薄膜的沉积过程中采取准确的控制蒸发温度,避免在蒸发源加热时产生大的温度梯度,对于易于升华的膜材选用膜材本身为加热器,进行蒸镀等措施也是非常重要的。

5.基体与镀膜室的清洁状态对涂层性能的影响

基体与镀膜室的清洁程度对涂层的性能影响是不可忽略的。它不仅会---影响沉积膜的纯度,而且也会减小膜的附着力。因此对基体的净化对真空镀膜室及室内的有关构件(如基片架)进行清洁处理和表面去气均是真空镀膜工艺过程中不可缺少的过程。




真空电镀前处理一般为化学清洗,根据油脂的种类和性质,真空电镀工厂,除油剂包含两种主体成分,碱类助洗剂和表面活性剂。

1、碱类物质。碱类助洗剂常用的为q氧化钠、纯碱、硅酸钠和三聚磷酸钠。q氧化钠和纯碱作为碱剂,价格为便宜,真空电镀,废水较难处理,有时因为碱性偏强导致清洗物体受到损伤,另一方面q氧化钠和纯碱没有乳化作用对于矿物油清洗没有任何效果;

硅酸钠与三聚磷酸钠既能提供碱性,又能提供一定的乳化力,广泛的用于各种除油清洗剂中---是对碱敏感的除油工艺。使用硅酸钠大的缺陷是除油后若不用热水先洗一道,直接冷水洗很难将残留的硅酸钠完全洗净,残留的硅酸钠会与下一道工序的酸反应生成附着牢固的硅胶,真空电镀,从而影响镀层的结合力;三聚磷酸钠则主要存在磷污染破坏环境的担忧。

2、表面活性剂。表面活性剂是除油剂的核x成分,早期的除油剂是以乳化剂的乳化作用为主,如脂肪醇聚氧乙烯醚(aeo)系列、烷j酚聚氧乙烯醚(tx、np)系列等。过多的使用乳化剂会将脱落的油脂乳化增溶于工作液中,导致工作液除油能力逐渐下降,需要频繁更换工作液。

但是随着表面活性剂价格的上升,越来越要求降低表面活性剂的使用量,提高除油的速率,这就要求除油剂具有---的分散和抗二次沉积性能,将脱落的油脂从金属表面剥离,在溶液中不乳化、不皂化,只是漂浮在溶液表面,保持槽液的清澈与持续的除油能力。

另一方面,适合除油的表面活性剂一般为非离子类型的产品,非离子产品普遍价位较高,为了降低除油剂成本,阴离子的产品也会出现有的除油剂的配方中,---是同时具有非离子性质的阴离子型表面活性剂脂肪酸---乙---化物磺酸盐(fmes),具有优异的“分散卷离”特点,有助于油脂的非乳化式剥离去除。






工艺关键词:电离惰性气体轰击靶材、靶材脱落沉积冷却成膜

溅镀的原理,是镀膜机腔体抽真空,直接以薄膜材料(靶材)当做电极,利用电极间见通电5kv~15kv产生的电浆轰击靶材,同时通入气体,气体发生离子化,粒子在电浆内移动,离子撞击靶材并使靶材表面原子脱离进而沉积在基板上,冷却浓缩成薄膜。

磁控溅镀

在直流溅镀或射频溅镀的基础上改进电极结构,亦即再把阴极内侧装置一磁铁,并使磁场方向垂直于极暗区电场方向,以便用磁场约束带电粒子的运转,这种溅射法称为磁控溅射。

由于磁场的作用力与电子的运转方向垂直,将形成电子回旋运动的向心力,此时中性物种间的撞击机率提高,始之在较低的压力下即能制作薄膜。

除了低压外,磁控溅射的另两项有优点就是高速,低温,因此也称之为高速低温溅镀法。

但是磁控溅镀也存在一些问题,如就平板磁控电极磁控电极而言,靶材中央及周边不为垂直于电厂的磁场分量越来越小,真空电镀哪里好,亦即与靶材表面平行的磁场分量小,使得在靶材表面的一个环形区域被溅射的异常快,而中央和边缘处溅射的少,如此下去便会出现w形侵蚀谷,使的靶材利用率降低,并且可能对薄膜的均匀性产生影响。




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